更新时间:2024-08-26
Bronkhorst金属密封气体质量流量计/控制器/EL-FLOWBronkhorst金属密封气体质量流量计和控制器为全金属密封结构,具有高性能、高质量的特点,适合半导体产业以及高纯度气体运用场合。
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Bronkhorst金属密封气体质量流量计/控制器/EL-FLOW
Bronkhorst是一家专注于小流量流体技术的公司,提供热式、科里奥利和超声波流量计和控制器产品系列,广泛应用于实验室、工业和危险区域等多种应用场景。该公司致力于为客户提供种类齐全、量程宽泛的产品,同时也提供定制化的解决方案,以满足不同客户的需求。此外,Bronkhorst还专注于气体、液体和蒸汽流量测控,提供多功能、预测试的模块,以及创新的蒸汽输送系统,确保了其在流体测量和控制领域的专业性和技术地位
高纯度气体应用
Bronkhorst金属密封气体质量流量计和控制器为全金属密封结构,具有高性能、高质量的特点,适合半导体产业以及高纯度气体运用场合。质量流量计和控制器的表体使用的是 1/4″ VCR 连接。
· 最小流量范围:0.12…6 mln/min
· 最大流量范围: 1… 50 ln/min
EL-FLOW® 产品具有多气体/多范围功能,为客户(OEM)提供可选的灵活性以及高效率工艺。为方便客户使用,Bronkhorst提供免费且便于操作的配置软件。
特点
· 高准确度 (标准 0.5% Rd + 0.1% FS)
· 可进行重复密封的全金属外部密封结构(无密封圈)
· 电抛光过流部件
· 无尘组装
· 多介质/多范围可调节功能
· 模拟通讯和数字I/O, 可与如下任意集成接口连接:
DeviceNet™, PROFIBUS DP, Modbus, EtherCAT® 或者 FLOW-BUS
· 无零飘(不需要零点自动调整电路)
· 高精度、重复性高
Bronkhorst金属密封气体质量流量计/控制器/EL-FLOW
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