vatvalve蝶形控制阀

vatvalve蝶形控制阀 61328-KAAE-0001

61.3 蝶形控制阀可提供出色的压力控制性能。凭借其快速且精准的作用动作控制器（0.1 秒），61.3 蝶形控制阀成为 CVD 和 ALD 工艺中精细控制的理想解决方案。阀板可充当节流元件，改变阀门开度的流导特性。61.3 蝶形控制阀的集成压力控制器可计算所需的阀板位置，以尽快实现设定压力。

该系列产品专为气流中有粒子的恶劣下游工艺设计。即使粒子载荷高并且存在因设计而沉积的碎屑，61.3 蝶形控制阀仍能够保持正常运行。

61.3 系列已经安装在数千个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中，证明了其可靠性。凭借坚固的设计、直接安装选项，以及简单且轻松的维护，61.3 系列在各个方面都令人信服。

阀体材料、表面处理、弹性体、法兰连接、特殊尺寸以及特殊控制算法（自适应、固定 PI 下游/软抽）方面的各种设计选项可简化在不同真空应用中的集成。

特点：

好的压力控制

运行非常快

板载软件，用于本地运行

恶劣工艺条件下可实现可靠运行

优势：

工艺可控性更好

正常运行时间长/性能不受限

运行成本低

技术参数：

尺寸

DN 25 (1")

驱动器

步进电机

材料

铝

法兰

ISO-KF

控制器配置

SPS

控制器接口+感应器

逻辑（A/D）/2个感应器

低压力

1 × 10-8 mbar

最高压力

1.2 bar (abs)

泄漏率

1 × 10-9 ls-1

循环直到第一次维修

2 000 000

最高温度阀体

≤ 150 °C

密封

FKM

闸门上的压差

≤ 1 bar

典型的关闭或开放时间

90 ms

最小可控电导率(N2分子流)

0.15 ls-1

最大电导率(N2分子流)

22 ls-1

重量

2.2 kg / 4.85 lbs

vatvalve蝶形控制阀 61328-KAAE-0001