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vatvalve蝶形控制阀

更新时间:2024-12-07

简要描述:

vatvalve蝶形控制阀 61328-KAAH-0001
快速且精准的压力控制

型号:61328-KAAH-0001点击量:829

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vatvalve蝶形控制阀 61328-KAAH-0001

真空和气体流的高精度控制和隔离在半导体制造中是至关重要的。在上游和下游过程中,所有的阀门功能必须保证在大量的循环中具有精确的重复性。其结果是:在规定的时间间隔内精确的体积流量和一致的、可靠的密封。VAT控制和隔离阀在此设定了标准。

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技术参数:

尺寸

DN 25 (1")

驱动器

步进电机

材料

法兰

ISO-KF

控制器配置

SPS

控制器接口+感应器

RS232接口/2个感应器

低压力

1 × 10-8 mbar

最高压力

1.2 bar (abs)

泄漏率

1 × 10-9 ls-1

循环直到第一次维修

2 000 000

最高温度阀体

≤ 150 °C

密封

FKM

闸门上的压差

≤ 1 bar

典型的关闭或开放时间

90 ms

最小可控电导率(N2分子流)

0.15 ls-1

最大电导率(N2分子流)

22 ls-1

重量

2.2 kg / 4.85 lbs

vatvalve蝶形控制阀 61328-KAAH-0001

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