更新时间:2024-12-07
vatvalve蝶形控制阀 61328-KAAH-0001快速且精准的压力控制
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vatvalve蝶形控制阀 61328-KAAH-0001
真空和气体流的高精度控制和隔离在半导体制造中是至关重要的。在上游和下游过程中,所有的阀门功能必须保证在大量的循环中具有精确的重复性。其结果是:在规定的时间间隔内精确的体积流量和一致的、可靠的密封。VAT控制和隔离阀在此设定了标准。
技术参数:
尺寸
DN 25 (1")
驱动器
步进电机
材料
铝
法兰
ISO-KF
控制器配置
SPS
控制器接口+感应器
RS232接口/2个感应器
低压力
1 × 10-8 mbar
最高压力
1.2 bar (abs)
泄漏率
1 × 10-9 ls-1
循环直到第一次维修
2 000 000
最高温度阀体
≤ 150 °C
密封
FKM
闸门上的压差
≤ 1 bar
典型的关闭或开放时间
90 ms
最小可控电导率(N2分子流)
0.15 ls-1
最大电导率(N2分子流)
22 ls-1
重量
2.2 kg / 4.85 lbs
vatvalve蝶形控制阀 61328-KAAH-0001