MCMILLAN UHP光刻胶液流监测仪

MCMILLAN UHP光刻胶液流监测仪/Model U709

Mcmillan成立于1988年美国德州的Georgetown市,是个典型的家族企业, Mcmillan是-家在技术上一直追求突破 与创新但行事缜密的设计/制造公司,其企业的宗旨在于提供客户合理价格且品质优良的解决方案,融合创新与严谨是Mmmilan竞争力的优势。

McMillan 是为各行各业的工程师提供流量测量和控制产品的企业。通过开发提供合理成本、精确测量和紧凑尺寸的技术, McMillan产品解决了仪器和设备设计中遇到的许多挑战。作为一家家族式小型企业 ,友善、乐于助人和乐于助人是持续成功的重 要因素。

McMillan的主要制造I位于美国德克萨斯州中部,提供的设计.开发和测试能力。该设施由McMillan的管理团队从头开始设计,以确保满足当前和未来的需求。单击下面的箭头可查看外观和内部的各种照片。

麦克米兰U709型UHP液体FLO监测器将精确测量几乎任何光刻胶化学品的流速，无论是短时爆发流还是连续流。可重复检测短至500毫秒的分液和低至0.1克的体积。

使用微型涡轮流量传感器设计可获得可重复的结果。与传统的叶轮设计不同，这种设计提供了精确的流量测量，不会产生颗粒或元素污染。PTFE、全氟弹性体和蓝宝石浸润部件确保与微电子制造过程中常见的化学品兼容，包括去离子水、CMP浆料、酸、溶剂和光刻胶。

这些FLO监测器将传感元件与先进的电子设备集成在一起，提供与流速成比例的输出信号。每个单元在装运前都经过单独校准，所有FLO监视器都附有校准证书。所使用的可靠技术使工艺工程师对一致的可重复结果放心。

对于稳定的粘度，ITY脉冲输出型号的精度规格为满量程的3.0%或更高（包括线性度）。

校准

所有装置都在工厂使用去离子水进行校准，每个装置都附有校准证书。对于粘度不同于水的流体，请联系工厂了解更多信息。

显示

麦克米兰有一系列广泛的远程显示器与UHP FLO监视器一起使用。请向工厂索取更多信息。

电气连接

所有装置都有一个集成的7针连接器。有多种配套电缆可供选择。

流量范围

连续流量范围为7-50毫升/分钟至100-1，000毫升/分钟。有关定制要求，请咨询工厂。

流体连接

所有装置均配有Flaretek兼容公连接器。可根据要求提供非标准连接类型。电源装置可以使用12 VDC或24 VDC电源运行。

信号输出

U709型具有脉冲输出功能，通常为0-200 Hz至0-800 Hz（请查阅装置校准证书以了解准确的频率输出）。

润湿材料

所有装置都只有PTFE、全氟弹性体和蓝宝石作为浸湿部件。

MCMILLAN UHP光刻胶液流监测仪/Model U709

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