vatvalve高压快速关闭阀25740-QE99 25.7 高真空快速切断阀受流量控制。没有任何子系统（传感器和驱动器）的直接操作设计可提供高速隔离功能，并且复杂性和故障风险均较低。
瑞士vatvalve角控制阀 62034-KAGX-0001 带有闭环控制步进电机的线性驱动器
62.0 角控制阀可提供非常精确的压力控制性能。得益于其电动线性驱动器，该系列阀门能够以最小流导通过顺畅且精细的控制循环地打开和关闭。集成式软抽控制功能通过避免与大多数传统气动驱动器相关的压力峰值来增强这一点。
vatvalve蝶形控制阀 61328-KAAE-0001 61.3 蝶形控制阀可提供出色的压力控制性能。凭借其快速且精准的作用动作控制器（0.1 秒），61.3 蝶形控制阀成为 CVD 和 ALD 工艺中精细控制的理想解决方案。
瑞士vatvalve高真空蝶形控制和隔离阀 61632-KEGQ-0001/2063 快速且精准的压力控制和隔离
