vatvalve角控制阀62.0

vatvalve角控制阀62032-KAGH-0001

62.0 角控制阀系列适用于高压和/或高温环境（例如 ALD 或 CVD）下的真空工艺。62.0 系列的最高工作温度为 200℃，可提供非常精确的压力控制性能。得益于其电动线性驱动器，该系列阀门能够以最小流导通过顺畅且精细的控制循环地打开和关闭。集成式软抽控制功能通过避免与大多数传统气动驱动器相关的压力峰值来增强这一点。

设备上控制器（DN 80 和 DN 100 的外部控制器）提供服务端口连接和各种接口以连接到 PCU。阀门控制器的主要特点也是控制性能分析仪应用程序，通过该应用程序可以分析一段时间内阀门在各种工艺条件下的性能。

vatvalve角控制阀62032-KAGH-0001

控制器接口为 RS232、RS485、Logic（模拟/ 数字）、DeviceNet®、Profibus 和 EtherCAT。

技术数据：

尺寸

DN 40 (1 ½")

法兰

ISO-KF

材料

铝

驱动器

带有闭环控制步进电机的线性驱动器

定位指示信号

没有

电磁阀

没有

控制器

基本版本

INTERFACE

RS232

低压力

1 × 10-8 mbar

最高压力

1.4 bar (abs)

闸门上的压差

≤ 1 bar

打开时的压差

≤ 1 bar

电导率

0.05 ls⁻¹

打开到关闭

1.25 s

关闭到打开

0.9 s

压力控制（节流）默认速度时间

1.7 s

控制器配置

基本版本/集群从属

控制器接口+感应器

RS232接口/2个感应器

重量

2.3 kg / 5.07 lbs