Festo 费斯托在半导体行业中的解决方案

Festo 费斯托在半导体行业中的解决方案

Festo – 为半导体行业提供一站式解决方案

在半导体制造这个快节奏的世界里，精确度至关重要。半导体行业由技术进步所推动，任何微小的变化都可能对产品的质量和性能产生重大影响。而氮气吹扫技术就是这一领域的无名英雄，为半导体生产过程带来了众多益处。

氮气吹扫的优势与半导体材料本身一样。通过利用氮气的特性，你可以实现更高的产量、更优的产品质量、更长的设备使用寿命，以及更安全、更可持续的生产过程。想要了解如何实施氮气吹扫系统以减少高达4%的碳排放量。

产品一：

质量流量调节阀 VEMD、

得益于比例阀，动态质量流量调节阀 VEMD 运行噪音极低。 带传感器的集成式电子元件按比例对空气、氧气、氮气、氩气和二氧化碳的流量进行检测、调节和计量。

质量流量调节阀 (MFC)，带热流量传感器和集成控制电子装置

动态调节，响应时间短

工作介质：空气、氧气、氮气、氩气、二氧化碳

当前流量值可通过接口获得

适用于许多需要调节惰性气体或氧气的应用

通过高效控制实现可持续运行

产品二：

用于 VYKA 的电气连接元件 VAVE-K1

用于介质分离式电磁阀 VYKA

带保持电流降低功能

应用：控制和调节冷却回路

您面临的挑战：在半导体制造过程中可靠地调节冷却液

Festo 的解决方案：

阀岛 VTUG 和 VTOC (1)用于可靠地控制介质的气控阀

CPX-MPA 型阀岛如果需要额外的 I/O，例如用来控制电控阀、集成传感器或创建闭环控制回路。此阀岛还可用于执行诊断和远程维护功能。

气控或电控 阀 VZXA、VZQA 和 VZWF (3)控制介质流量。即使在闭环控制回路中，也能可靠、准确地调节非常冷和/或热的介质。

角行程驱动器 DFPD (4)驱动 球阀 VZBF (5)以及通常用于冷却或温度控制介质的主管线和进/出管线的大流量翻板阀。

SFAW (2) 和 SPAW (6)型传感器非常准确地测量介质流量以及温度和压力。

Festo 为制造电子元件的机器提供了广泛的产品组合：具有集成安全功能的阀岛 VTOC 或我们的比例压力阀 VEAA/VEAB（用于对通常控制或调节工艺气体的介质阀进行先导控制）。

阀岛 VTOC

紧凑型先导阀岛适用于各种气动应用。加上互锁选项，提高安全性。VTOC通过多针或现场总线接口控制，也适用于10-Link®,

比例压力阀 VEAA

压电技术使 VEAA 极其精确，使用寿命长，压力范围高达 10bar。其他优点包括极短的切换时间、安静的运行和极低的功耗。

比例压力阀 VEAB

压电技术使 VEAB 极为精确，使用寿命长，压力范围高达6bar。其他优点包括极短的切换时间、安静的运行和极低的功耗。